Siliciumepitaxiesubstraten

Siliciumepitaxiesubstraten

Deze siliciumepitaxiesubstraten zijn minutieusontworpen voor epitaxiale laaggroei, dat dient als kristallijne sjabloon met hoge-zuiverheid voor geavanceerde integratie van Power- en Logic-apparaten. Onze substraten zijn ontworpen met behulp van nauwkeurig Czochralski (CZ) trekken en ultra-schone polijstsequenties en zorgen voor een compromisloze oppervlakteomgeving. Deze gladheid op atomair-niveau is de fundamentele vereiste voor het bereiken van hoge-homo-epitaxiale en hetero-epitaxiale afzetting in de volgende generatie halfgeleiders.

Geoptimaliseerd oppervlak voor hoogwaardige- afzetting:Degecontroleerde oppervlakte- en kristaloriëntatiezijn geoptimaliseerd om een ​​ideale kiemomgeving te bieden. Door strikt toezicht te houden op deUit-snijhoek(misoriëntatie) met nauwkeurigheid tot op de millimeter faciliteren we een stap-stroomgroeimechanisme. Dit minimaliseert de mismatch van het rooster en voorkomt de vorming van stapelfouten en dislocaties van de schroefdraad, wat essentieel is voor het stabiliseren van de elektrische eigenschappen van de daaropvolgende epi{{2}laag.

Gecontroleerde weerstand voor apparaatisolatie:Deze substraten zijn speciaal ontworpen voor Power IC- en analoge toepassingenstabiele materiaaleigenschappenmet een zeer uniform doteringsprofiel. Dit maakt nauwkeurige controle over de substraat-naar-epi-interface mogelijk, waardoor de isolatie van het apparaat wordt verbeterd en de parasitaire capaciteit in omgevingen met hoge- frequentie en hoge- spanning wordt verminderd.

Hoge-zuiverheid thermische veerkracht:Voor elk substraat gelden strenge toleranties voor interstitiële zuurstof en metallische onzuiverheden om auto{0}}doping en thermisch geïnduceerde kromtrekking te voorkomen. Zijn superieure mechanische sterkteondersteunt meerdere verwerkingsstappen met minimale variatie, waarbij de geometrische betrouwbaarheid behouden blijft tijdens hoge-CVD-cycli (Chemical Vapour Deposition) en snelle thermische verwerkingscycli (RTP).

Populaire tags: siliciumepitaxiesubstraten, China fabrikanten van siliciumepitaxiesubstraten, leveranciers, fabriek